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江苏沃泽光电科技有限企业
主要经营超高压水银气灯、光刻机汞灯、短弧汞灯曝光机汞灯
沃泽光电科技
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影响光刻机工作的重点是什么
来源: | 编辑:江苏沃泽光电科技有限企业 | 发布时间: 2020-09-11 | 610 次浏览 | 分享到:
  影响光刻机工作的重点是什么?光刻机就是放大的单反,利用光刻机发出的光通过具有图形的光罩对涂有光刻胶的薄片曝光,类似照相机照相,使薄片具有电子线路图的作用

  光源是光刻机核心来源,光刻机的工艺能力取决于其光源的波长。

  光刻机的光源是采用汞灯产生的紫外光源(UV:UltravioletLight),从g-line到i-line,波长缩小到365nm,实际对应的分辨率大约在200nm以上。

  业界采用了准分子激光的深紫外光源。将波长进一步缩小到ArF的193nm,ArF加浸入技术(ImmersionTechnology)成为了主流。

  就是让镜头和硅片之间的空间浸泡于液体之中。由于液体的折射率大于1,使得激光的实际波长会大幅度缩小。

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